洁净室的发尘源
洁净室内的发尘源主要来自于洁净室内操作人员,洁净室的围护和洁净室内生产工艺设备和生产过程的产尘。
① 洁净室内作业人员的产尘。一般电子装配工艺穿全身型洁净工作服轻微动作时,洁净室,人员的产尘量为3.5~5×105个/人·分(≥0.5μm)。是洁净室内的主要的发尘源。
② 洁净室围护和室内表面的产尘。一般认为洁净室单位建筑面积产尘为3~5.0×104 个/m2·分(≥0.5μm)。可见10平方米建筑产尘只相当一个作业人员的产尘量。
③ 生产设备和生产过程的产尘:这一产尘量与设备和生产过程本身有直接关系。不同设备、不同生产工艺的产尘量差别较大。在日本的资料介绍,万级洁净室,一台电动机的产尘量大约为4.5~45×104个/台·分(≥0.5μm)。
——洁净室之压差——
这项的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。这项适用于所有3种占用状态。需要定期进行这项。
压差的测试应在所有的门都关闭的条件下,由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始,依次向外测试;有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室(区),其洞口处宜有合理的气流流向等等。
压差要求:
(1)静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下进行。
(2)在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行,洁净室,一直到直通室外的房间。
(3)测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可,测管口面与气流流线平行。
(4)所测量记录的数据应到 1.0Pa。
压差步骤:
(1)先关闭所有的门。
(2)用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。
(3)记录所有数据。
压差标准要求
按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,十万级洁净室,应不小于5Pa。
(2)洁净室(区)与室外的静压差,不应小于 10Pa。
(3)对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时,门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
(4)若达不到以上标准的要求,应重新调整新风量、排风量、至合格为止。
1.在空气净化系统中从吸入新风开始,一般分为三级过滤:一级使用初效过滤器,*二级使用中效或亚过滤器,*三级使用过滤器。
2.以空气过滤组合为例,系统的运转过程附图所示。室外新鲜空气(或称新风)经初效过滤器过滤后与洁净室的回风混合,经空调器调节温度、湿度,再通过中效过滤器和过滤器过滤,进入洁净室内。当室内不发生有害物质时一般尽量利用回风以节省能源和投资。