压差标准要求
u 按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
u 不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应不小于5Pa。
u 洁净室(区)与室外的静压差,不应小于 10Pa。
u 对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时,门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
u 若达不到以上标准的要求,应重新调整新风量、排风量、至合格为止。
至于洁净度做哪些项目,具体项目内容包括温度、相对湿度、风量、静压差、照度、噪声、尘埃数、沉降菌、甲醛浓度、气流速度等。
1.风速风量换气次数
由于洁净室主要依靠送入足够量的洁净空气,通过排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现洁净度的。所以,在测定洁净室时,送风量、均风速、送风均匀性、气流流向及流型就显得十分重要和必要。
其中,单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,层流洁净工作台检验标准,因此它们是主要关注的项目。
相关细则:
1.洁净室(区)的温度和湿度,应符合下列规定:生产工艺对温度和湿度无特殊要求时,洁净室(区)温度应为18~26℃,相对湿度应为45%~65%。
2.不同空气洁净度等级的洁净室(区)之间以及洁净室(区)与非洁净室(区)之间的空气静压差不应小于5Pa,洁净室(区)与室外大气的静压差不应小于10Pa。
3.洁净室(区)应根据生产要求提供照度,并应符合下列规定:
(1)主要工作室一般照明的照度值宜为300lx。
(2)辅助工作室、走廊、气闸室、人员净化和物料净化用室的照度值不宜低于150lx。
(3)对照度有特殊要求的生产部位可设置局部照明。