世纪久海(图)-十万级洁净室-洁净室

洁净室的发尘源

       洁净室内的发尘源主要来自于洁净室内操作人员，洁净室的围护和洁净室内生产工艺设备和生产过程的产尘。

① 洁净室内作业人员的产尘。一般电子装配工艺穿全身型洁净工作服轻微动作时，洁净室，人员的产尘量为3.5~5×105个/人·分（≥0.5μm）。是洁净室内的主要的发尘源。

② 洁净室围护和室内表面的产尘。一般认为洁净室单位建筑面积产尘为3~5.0×104 个/m2·分（≥0.5μm）。可见10平方米建筑产尘只相当一个作业人员的产尘量。

③ 生产设备和生产过程的产尘：这一产尘量与设备和生产过程本身有直接关系。不同设备、不同生产工艺的产尘量差别较大。在日本的资料介绍，万级洁净室，一台电动机的产尘量大约为4.5~45×104个/台·分（≥0.5μm）。

——洁净室之压差——

     这项的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。这项适用于所有3种占用状态。需要定期进行这项。

压差的测试应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始，依次向外测试;有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室(区)，其洞口处宜有合理的气流流向等等。

     压差要求：

     (1)静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下进行。

     (2)在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，洁净室，一直到直通室外的房间。

     (3)测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可，测管口面与气流流线平行。

     (4)所测量记录的数据应到 1.0Pa。

压差步骤：

　　(1)先关闭所有的门。

　　(2)用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。

　　(3)记录所有数据。

　　压差标准要求

　　按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。

　　(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差，十万级洁净室，应不小于5Pa。

　　(2)洁净室(区)与室外的静压差，不应小于 10Pa。

　　(3)对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。

　　(4)若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量、至合格为止。

1.在空气净化系统中从吸入新风开始，一般分为三级过滤：一级使用初效过滤器，*二级使用中效或亚过滤器，*三级使用过滤器。

2.以空气过滤组合为例，系统的运转过程附图所示。室外新鲜空气（或称新风）经初效过滤器过滤后与洁净室的回风混合，经空调器调节温度、湿度，再通过中效过滤器和过滤器过滤，进入洁净室内。当室内不发生有害物质时一般尽量利用回风以节省能源和投资。