世纪久海(图)-洁净度

洁净室的发尘源

       洁净室内的发尘源主要来自于洁净室内操作人员，洁净室的围护和洁净室内生产工艺设备和生产过程的产尘。

① 洁净室内作业人员的产尘。一般电子装配工艺穿全身型洁净工作服轻微动作时，人员的产尘量为3.5~5×105个/人·分（≥0.5μm）。是洁净室内的主要的发尘源。

② 洁净室围护和室内表面的产尘。一般认为洁净室单位建筑面积产尘为3~5.0×104 个/m2·分（≥0.5μm）。可见10平方米建筑产尘只相当一个作业人员的产尘量。

③ 生产设备和生产过程的产尘：这一产尘量与设备和生产过程本身有直接关系。不同设备、不同生产工艺的产尘量差别较大。在日本的资料介绍，一台电动机的产尘量大约为4.5~45×104个/台·分（≥0.5μm）。

过滤器检漏的前提

1、提前拆除过滤器的散流板。

2、洁净区要进行清洁，净化系统提前运行。

3、被检漏过滤器必须已测过风量，洁净度，在设计风速的80%~120%之间运行。

    检漏的重要性

1、检漏试验是粒子测定的基础，空气洁净度，其重要性不亚于粒子测定。

2、检漏试验和空气流速达到了规定要求，洁净度，气流均匀度也在规定的控制范围内，则洁净度当然有了保证。

   检漏方法

1、气溶胶作尘源，与气溶胶光度计配合。

       常用气溶胶：邻ben二甲酸二辛酯（DOP），因其具有致突变性，厂房洁净度，现多采用  聚α－烯烃（PAO)。

2、大气尘作尘源，与粒子计数器配合。

和**过滤器都做为净化系统的终端过滤器。一般放置在洁净室的吊顶上。过滤器（HEPA）是洁净室的必须的终端过滤器。而**过滤器是0.1μm，10级、1级或更高别洁净室必须的终端过滤器。过滤器除去的是≥0.5μm的粒子。亚、和**过滤器都是一次性的，使用后就废弃的。和**过滤器都做为净化系统的终端过滤器。一般放置在洁净室的吊顶上。过滤器（HEPA）是洁净室的必须的终端过滤器。而**过滤器是0.1μm，10级、1级或更高别洁净室必须的终端过滤器。过滤器除去的是≥0.5μm的粒子。亚、和**过滤器都是一次性的，使用后就废弃的。